第769章 还是出事了（第2页）

浸润式光刻机，是指在光刻机投影镜头与半导体硅片之间用一种液体充满，从而获得更好分辨率及增大镜头的数值孔径，进而实现更小暴光尺寸的一种新型光刻技术。

李云海只知道有这么一种技术。

但他只知其然，不知其所以然。

浸润式光刻机技机，具体是怎么样的，他说不出来。

纪文姝道：“李总，我们现在使用的浸入液是环辛烷。

可是我们还存在很多问题没有解决。

对浸入液的充入、镜头的沾污、光刻胶的稳定性和气泡的伤害等关键问题，我们都要一一解决。”

李云海道：“多久能解决这些难题？”

纪文姝道：“我现在不好说，难题太多，我们只能一边研究一边攻克。”

2000年以前，业界普遍认为193n光刻无法延伸到65n技术节点，而157n将成为主流技术。

然而，157n光刻技术遭遇到了来自光刻机透镜的巨大挑战。

这是由于绝大多数材料会强烈地吸收157n的光波，只有caf2勉强可以使用。

但研磨得到的caf2镜头缺陷率和像差很难控制，并且价格相当昂贵。

雪上加霜的是，它的使用寿命也极短，频繁更换镜头让芯片制造业无法容忍。

有远见的科学家们，早就看到了未来光刻机的极限。

他们一直在寻求新的突破。

研究浸润式光刻机的，也不仅仅只有四海集团一家公司。

李云海忽然说道：“纪总，不应该基于157n波长，而应该是193n的波长！”

纪文姝不解的问道：“什么意思？”

李云海道：“浸润式光刻机，最重要的一点，不是基于157n波长！

而是193n的波长！”

纪文姝沉吟道：“193n的波长？为什么？我们现在明明可以突破到153n波长啊！

难道还要从193n波长开始？”

李云海道：“你说得对，在157n波长下，水是不透明的液体。

但是对于193n的波长则是几乎完全透明的。

并且水在193n的折射率高达144，而可见光只有133。”

纪文姝双眼一亮，她是个聪明人，提头知尾，马上就想到了这个方案的可行性。

李云海道：“如果把水这样一种相当理想的浸入液，配合已经十分成熟的193n光刻设备，那么我们只需要做较小的改进，重点解决与水浸入有关的问题，193n水浸式光刻机就近在咫尺了。

同时，193n光波在水中的等效波长缩短为134n，足可超越157n的极限。”

纪文姝不由得拍手叫好：“李总，你太牛了！

我们这么久没能解决的困难，你一句话就帮我们解决了！”

李云海心想，我也是借了重生智慧的光！

不然的话，你让我想死十亿脑细胞，我也想不到这个方法！

纪文姝拿过纸笔来，趴在茶几上，记录李云海刚才说的话。

“193n水浸式光刻机！

李总，这就是我们的指导方向！”

纪文姝激动无比的说道，“难怪我们一直研究不出来，原来我们都走了弯路！”

她今天为了参加联谊舞会，穿上了性感漂亮的连衣短裙，

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